超純水處理設備在使用初期還是有很多不足之處的，但是隨著科技的進步，慢慢延伸到現在，經過幾代的更新，超純水處理設備的技術現在也有了很大的進步，從剛開始排出的污水對環境有污染，到現在排出的水沒有污染。
     超純水處理設備工藝流程
    1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
    2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點
    3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點 
     這三種工藝是目前使用最多的三種，其他有不同的，也是在這三種的基礎上加以變動，或者是把這三種工藝流程的順序進行調換，可以進行不同的組合。
     超純水處理設備優缺點介紹
    1、種主要是利用離子交換樹脂的方式，它的優點在于初投資少，占用的地方少，它的缺點是需要經常進行離子再生，這個過程會耗費大量酸堿，最主要的一點是排出的水對環境有一定的破壞，不利于環境保護。
    2、第二種是利用反滲透作為預處理再加上離子交換設備，它的特點是投資初期的資金比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
    3、第三種主要是反滲透作預處理再加上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水，用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。的缺點在于初投資比上邊兩種都要大，所以這個問題也是目前影響設備使用率的障礙。