詳細介紹
電子超純水設備去離子設備是采用RO+EDI技術設計,關鍵部件、設備采用進口產品,工藝*,質量可靠,可擴展性強,結構合理占地小,水利用率高,能耗低,全自動化運行,操作維護簡單。根據用戶要求設計制造反滲透系統,一般產水下限0.25m3/hr,上限不限,水回收率一般可達75%以上,脫鹽率>98%。產水量隨進水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化。我公司采用的現代超純水制造工業
超純水去離子設備典型工藝流程為:
1、預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2、預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3、預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4、預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
超純水設備去離子設備電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗 電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液 顯像管和陰極射線管生產配料用純水黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水 液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液 晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制集成電路生產中超純水去離子設備清洗硅片。