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1 產品簡介
本產品設計用于滿足STG-AT01與STG-3020中間的水蒸氣發生需求。其蒸發量范圍為(0.1-1.0)g/min,上限還可以擴展到2.0 g/min,而STG-3020在該區間內的流量穩定性不足。本產品同樣具有STG-AT01的高精度和連續調節能力。
STG3001內置帶有自動水位控制的去離子水儲罐,有一路質量流量計進行載氣計量,同時帶有預熱混合器和觸摸屏控制,是一款全功能型發生器。
2 規格參數
蒸發量 sccm | 0.1-1.0(上限可拓寬到2.0) |
流量總量精度% | 優于±1 |
流量波動% | 優于±2 |
輸出溫度℃ | ≤200 |
最大耐壓 bar | 15 |
功率 kW | 1.0 |
輸出接口 | Ф6直管 |
外形尺寸mm | |
重量kg | 10 |
可加裝配件 | (1) 已內置預熱混合器 (2) 液位自動控制 (3) 輸出伴熱定制 |