SF6氣體由于其固有的特性,目前是較為理想的絕緣及滅弧介質。但其微水含量、氣體密度等等都會對設備的運行、人員的安全、電網的可靠帶來直接的影響。因此對SF6電氣設備的微水含量、氣體密度的監測一直是相關行業對設備監測的一個重要的組成部分。有關部門相繼制定了相關標準對SF6氣體質量、特別是微水含量進行嚴格控制。電力部推薦標準《電力設備預防性試驗規程(DL/T596-1996)》、國家標準《六氟化硫電氣設備中氣體管理和檢驗導則(GB/T 8905-1996)》以及IEEE標準《IEEE Guide for Moisture Measurement and Control in SF6 Gas-Insulated Equipment(IEEE Std 1125-1993)》對水分的控制均采取水分對SF6氣體體積比(ppm)的形式。