陳霞
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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC系列SC-701MkⅡ
特征
直流濺射類別中系列中z小的超緊湊機型
配備皮拉尼真空計,以確保成膜條件的可重復性
配備手動百葉窗作為標準裝備
使用專yong的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。
由于可以涂鎢,因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。
應用/結果示例
各種設備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應用?
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC系列SC-701MkⅡ
基本規格
陰極 | φ2英寸直流磁控管/平板型電極 |
適用對象 | 金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁 |
壓力測量 | 皮拉尼真空計 |
壓力控制 | 針閥手動控制 引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝 |
工藝氣體 | 氬氣 |
真空泵 | 直聯式旋轉泵:20L / min(帶自動泄漏) |
箱體尺寸 | 內徑φ90×D90mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 機身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm |
重量 | 身體:9公斤RP:9公斤 |
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