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沈陽科晶自動化設備有限公司
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更新時間:2020-12-18 16:32:03瀏覽次數:240次
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所在地區:遼寧沈陽市
聯系人:金 (經理)
VTC-200P真空旋轉涂膜機,勻膠機
產品簡介:VTC-200P真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。VTC-200P真空旋轉涂膜機腔體不可抽真空,工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節約材料。腔室的上蓋可以對樣品進行加熱(可選功能),有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進行。VTC-200P真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優點,主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。
產品名稱
VTC-200P真空旋轉涂膜機
VTC-200P
安裝條件
本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設備配有進出水口
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:不需要
4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通風裝置:需要
主要特點
1、設有12組程序,每組包含6個運行階段,每段增減速率設置范圍:100—2000rpm/s,每段時間范圍:0—60s。
2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
3、吸盤真空度可以達到-0.08MPa。
4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
5、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
6、電機采用24V直流無刷電機,無級調速,可靠性高,適應性強,維修與保養簡單,噪音低,震動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
7、本機可置于手套箱內使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。
9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。
10、腔體通體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能。
11、全英文操作系統。
12、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止
13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數值,更直觀可靠。
技術參數
1、電源:220V 50HZ
2、電機功率:350W/24V
3、轉速:500rpm-6000rpm之間可調
4.可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段,
5、每段增減速率設置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍:0-60s
6、吸盤規格φ100mm
7、本機可選配加熱功能:加溫范圍RT-100℃
加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質
溫度單獨控制,與主機程序控制無關聯
產品規格
尺寸:φ250mm×360mm;重量:20kg
標準配件
1
φ100mm真空吸盤
1個
2
O型膠圈
3
滴液器
4
滴液器支架
5
中心定位器
6
無油真空泵
1臺
可選配件
進口移液器
國產移液槍
其它尺寸的真空吸盤
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