RTS-4型四探針薄層電阻測試儀

可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；

高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒；

RTS-4型四探針薄層電阻測試儀技術指標 ：.

測量范圍  

電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；  
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
電導率：0.0005～10000s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω；

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調

數字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；    
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標  間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數  (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)  0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機測量相對誤差 (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度  ≤5%

軟件功能（選配）軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據ZUI大值、ZUI小值、平均值、ZUI大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口：并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒

標準使用環境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；