揮發性有機物監測系統主要由采樣探頭、伴熱管線、預處理單元、VOC分析儀、電控單元（包含氫氣發生器、空氣發生器）組成，測量時煙氣由機柜內的高溫采樣泵抽取，樣氣全程保溫在120℃（可設置到180℃），經由采樣探頭、伴熱管線、除塵過濾器后通入VOC分析儀進行測量，儀表內部的樣品管路在120℃。為保證測量的長期準確性，系統集成有零氣和標氣。定期對系統進行零點和量程標定。

煙氣參數監測子系統主要由溫壓流一體化對煙氣的溫度、壓力、流速進行測量。煙氣溫度采用鉑電阻溫度傳感器測量；煙氣的壓力采用***隔離膜壓力傳感器測量；煙氣流速采用皮托管法流速計測量，通過測量煙氣流動中的全壓和靜壓，得到煙氣的流速。氧氣采用氧化鋯原理測量，濕度采用電容式傳感器進行測量。

數據采集與處理子系統由工控機和系統監測軟件構成。系統監測軟件安裝于工控機內，用于監測和匯總所有的氣體濃度信息和工作狀態信息，同時生成報表、存儲數據、記錄歷史數據、與***聯網通信等功能。傳輸單元安裝于機柜內部，將測量的參數轉換成4～20mA、RS485信號、或是以太網通訊送給客戶的DCS系統。