工業廢水處理設備臭氧發生器有多種分類，按臭氧發生器構造區劃，有空隙充放電式（DBD）和敞開式兩種。其中，空隙充放電式的構造特性是活性氧在內外電級區段的空隙內造成活性氧，活性氧可以集中化搜集輸出應用其濃度值較高，如用以污水處理。敞開式超聲波發生器的電極是外露在氣體中的，所造成的活性氧非常迅速地外擴散到氣體中，因臭氧濃度較低一般只用以較小室內空間的氣體滅菌或一些中小型物件表層消毒滅菌?？障冻浞烹娛匠暡òl生器可替代敞開式超聲波發生器應用。但空隙充放電式臭氧發生器成本費遠超敞開式。一般來說，水處理的臭氧發生器所需臭氧濃度高，因此臭氧發生器一般為密閉的。

工業廢水處理設備臭氧發生器的應用非常普遍，常見的處理水體有含酚、含氰和印染廢水處理等。臭氧可使氰絡鹽中的氰快速分解，它的作用分為兩個階段，先將高毒性的氰氧化成氰，然后進一步氧化成CO2和N2，從而大大降低有毒廢水的毒性。對含酚廢水進行臭氧處理時，對酚的降解速度與臭氧投加量和時間有關，PH值越高，臭氧消耗越少。除分散染料外，臭氧對所有染料廢水具有脫色作用，可破壞染料的發色或助色基因，從而達到脫色的目的。

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