用途:
LW500LMDT工業顯微鏡配有載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡。用于半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,用于工廠、研究機構、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析.
特點:
1. 長工作距離無限光路校正系統的物鏡成像技術。
2. 無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供清晰的圖像質量。
3. 采用非球面Kohler照明。
4. WF10X(Φ25)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡。
5. 可插DIC微分干涉裝置的轉換器。
主要技術參數:
1. 目鏡筒:三目, 30?傾斜,360? 旋轉(內置檢偏振片,可進行切換)
2. 目鏡:大視野10X/22mm
3. 無限遠長工作距離平場消色差明/暗場物鏡(無蓋玻片)
5X/0.1B.D,工作距離:29.4mm,
10×/0.25B.D,工作距離:16mm,
20X/0.40B.D,工作距離:10.6mm,
40×/0.60B.D,工作距離:5.4mm
4. 總放大倍數:50-400X
5. 轉換器:五孔(內向式滾珠內定位)
6. 載物臺: 雙層機械移動式(尺寸: 350mm×310mm,移動范圍: 250mm×250mm)
7. 調焦機構:粗微動同軸調焦, 粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構 微動格值0.002mm帶鎖緊和限位裝置
8. 偏光裝置:檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
9. 照明系統:返射光,帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/100W,AC85V-230V亮度可調節
10.濾色片:插板式濾色片(綠、藍、中性)