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廠商性質其他
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更新時間:2021-06-29 16:33:21瀏覽次數:200次
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商鋪產品:52條
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Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡
新一代的賽默飛世爾科技 Helios 5 DualBeam 具有 Helios 5 產品系列業界的高性能成像和分析性能。它經過精心設計,可滿足材料科學研究人員和工程師對泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是挑戰性的樣品。
半導體行業技術參數:
Helios 5 CXHelios 5 HPHelios 5 UXHelios 5 HXHelios 5 FX 樣品制備與 XHR 掃描電鏡成像最終樣品制備 (TEM薄片,APT)STEM 亞納米成像與樣品制備SEM著陸電壓20 eV~30 keV20 eV~30 keV分辨率0.6 nm@15 keV1.0 nm@1 keV0.6 nm@2 keV0.7 nm@1 keV1.0 nm@500 eVSTEM分辨率@30 keV0.7 nm0.6 nm0.3 nmFIB制備過程材料去除束流65 nA100 nA65 nA最終拋光電壓2 kV500 VTEM樣品制備樣品厚度50 nm15 nm7 nm自動化否是是樣品處理行程110×110×65 mm110×110×65 mm150×150×10 mm100×100×20 mm100×100×20 mm+5軸(S)TEM Compustage快速進樣器手動自動手動自動自動+自動插入/提取STEM 樣品桿
Helios 5 CX
Helios 5 HP
Helios 5 UX
Helios 5 HX
Helios 5 FX
樣品制備與 XHR 掃描電鏡成像
最終樣品制備 (TEM薄片,APT)
STEM 亞納米成像與樣品制備
SEM
著陸電壓
20 eV~30 keV
分辨率
0.6 nm@15 keV
1.0 nm@1 keV
0.6 nm@2 keV
0.7 nm@1 keV
1.0 nm@500 eV
STEM
分辨率@30 keV
0.7 nm
0.6 nm
0.3 nm
FIB制備過程
材料去除束流
65 nA
100 nA
最終拋光電壓
2 kV
500 V
TEM樣品制備
樣品厚度
50 nm
15 nm
7 nm
自動化
否
是
樣品處理
行程
110×110×65 mm
150×150×10 mm
100×100×20 mm
100×100×20 mm+5軸(S)TEM Compustage
快速進樣器
手動
自動
自動+自動插入/提取STEM 樣品桿
材料科學行業技術參數:
離子光學
具有卓越的大束流性能的Tomahawk HT 離子鏡筒
具有卓越的大束流和低電壓性能的Phoenix 離子鏡筒
離子束電流范圍
1 pA – 100 nA
1 pA – 65 nA
加速電圧
500 V – 30 kV
水平視場寬度
在束重合點處為0.9 mm
在束重合處點為0.7 mm
離子源壽命
1,000 小時
兩級差分抽吸
飛行時間校準
15孔光闌
電子光學
Elstar超高分辨率場發射鏡筒
磁浸沒物鏡
高穩定性肖特基場發射槍提供穩定的高分辨率分析電流
電子束分辨率
工作距離下
0.6 nm @ 30 kV STEM
0.6 nm @ 15 kV
0.7 nm @ 1 kV
1.0 nm @ 1 kV
1.0 nm @ 500 V (ICD)
0.9 nm @ 1 kV 減速模式*
在束流重合點
1.5 nm @ 1 kV 減速模式* 及 DBS*
1.2 nm @ 1 kV
電子束參數
電子束流范圍
0.8 pA ~ 176 nA
0.8 pA ~ 100 nA
加速電壓范圍
200 V ~ 30 kV
350 V ~ 30 kV
20 eV ~ 30 keV
2.3 mm @ 4 mm WD
探測器
Elstar 鏡筒內 SE/BSE 探測器 (TLD-SE, TLD-BSE)
Elstar 鏡筒內 SE/BSE 探測器 (ICD)*
Elstar 鏡筒內 BSE 探測器 (MD)*
樣品室內 Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)
紅外相機
高性能離子轉換和電子探測器 (SE)*
樣品室內 Nav-Cam 導航相機*
可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射探測器 (DBS)*
可伸縮STEM 3+ 探測器*
電子束流測量
樣品臺和樣品
樣品臺
高度靈活的五軸電動樣品臺
壓電陶瓷驅動 XYR 軸的高精度五軸電動工作臺
XY
110 mm
150 mm
Z
65 mm
10 mm
R
360° (連續)
傾斜
-15° ~ +90°
-10° ~ +60°
樣品高度
與優中心點間隔 85 mm
與優中心點間隔 55 mm
樣品質量
樣品臺任意位置 500 g
0° 傾斜時 5 kg
樣品尺寸
直徑 110 mm可沿樣品臺旋轉時
直徑 150 mm可沿樣品臺旋轉時
優中心旋轉和傾斜
Helios 5 對所有經驗水平用戶而言都是最容易使用的 DualBeam 系統。操作人員培訓可以從幾個月縮短到幾天,其系統設計可幫助所有操作人員在各種高級應用程序上實現一致、可重復的結果。
Helios 5 和 AutoTEM 5 軟件的*自動化功能,增強的可靠性和穩定性允許無人值守甚至夜間操作,顯著提高樣品制備通量。
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