A530 描述

A530 移動式氦質譜檢漏儀(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前級泵抽速30 m³/h），低維護、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質譜檢漏儀輕松檢漏，使您放心得到快速準確可靠的測試結果。產品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜，光伏等行業。

功能特點

大抽速前級泵，工作效率高

支持正壓檢漏，負壓檢漏

優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

自動跟蹤本底功能，提供快速可靠的測量結果

高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦

機器的性能支持7*24 小時長時間在線測試

雙銥絲離子源，系統設計有效的防大氣沖擊功能

配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷

支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底有可便捷更換過濾器

指標：

最小可檢漏率：5×10-13Pa·m3/s

漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-13Pa·m3/s

啟動時間：≤2min

響應時間：＜0.5s

檢漏口工作壓：1500Pa

前級泵抽速：30m3/h

配置：

德國普發分子泵，

渦旋干泵，30 m3/h

德國寶帝電磁閥

歌博氦質譜分析模塊（雙銥帶離子源）

標準漏孔（10-8 Pa·m3/s）