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更新時間:2022-09-28 18:54:28瀏覽次數:214次
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壓電晶體生長爐產品簡介:本設備是公司新研發的用于鉭酸鋰(LT)和鈮酸鋰(LN)等材料的壓電晶體生長的設備
產品簡介:
技術參數:
爐體內腔尺寸:φ800mm×1000mm
外形尺寸:1000mm×1000mm×2500mm
長晶尺寸:6英寸
籽晶軸提拉行程:450mm
提拉運動最小線速度:0.01mm/hr
快速提拉速度:200mm/min
籽晶軸轉動速度:0.1~100r/min
稱重系統:稱重傳感器量程20kg;信號放大器顯示精度0.01g
控制軟件:提拉法等徑控制軟件,采用上稱重方法來控制晶體直徑,晶體形狀可隨意設計,PID及運動參數可隨晶體形狀過渡變化,屏幕上數據交叉顯示提供生長過程中數據綜合分析工具。
加熱電源:中頻感應加熱
加熱輸出功率:30KW
真空系統:機械泵抽真空
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