產品詳細介紹:
VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理樣品尺寸為100mm x 100mm。儀器工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品實加的壓力為6T。
技術參數:
主要參數 | ·功率:2000W ·電源: 208 - 240VAC, 50 Hz 單相 |
結構 | ·兩塊135mm x135mm加熱平臺,采用高溫合金鋼制成,可承受溫度為500℃ ·加熱管嵌在加熱平臺的中間,以達到快速加熱的效果 ·兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,可設置30段升降溫程序 ·水冷管設計在加熱平臺的頂端,以達到快速冷卻的效果
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液壓泵 | ·40T的電動液壓機與真空腔體相連接 ·兩個加熱平臺之間的可移動距離為60mm ·自動壓力控制并帶有數顯壓力顯示 ·壓力控制精度為+/-0.5 Mpa ·兩個加熱平臺工作溫度為500℃,加熱平臺頂端安裝有冷卻水管。當工作溫度高于200℃時,請注入冷卻水(>15L/min) |
溫控系統和壓力顯示 | ·兩個精密的溫控系統可設置30段升降溫程序,其控溫精度為±5℃,分別獨立控制兩個加熱平臺 ·溫控系統采用PID方式進行溫度調節,并帶有過熱和斷偶保護 ·工作溫度為500℃ ·建議升溫速率:0-400℃≦4℃/min 400-500≦2.5℃/min ·軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導入到電腦中 ·數字壓力顯示器(控制器)安裝在真空腔體外,可設置其壓力,當壓力達到設置值時電機將自動停止
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真空腔體 | ·電動液壓裝置和加熱臺都安裝在真空腔體內 ·真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強筋(防止真空狀態下腔體變形),真空度可以達到10E-3 torr ·內部腔體尺寸為:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) ·真空腔體前端有一直徑為150mm的觀察窗口 ·一個真空計安裝在真空腔體上,測量內部的真空度
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水冷(可選) | ·一臺循環水冷機,用于冷卻加熱板,防止過熱和更快冷卻。需額外購買 |
真空泵(可選) | ·機械泵的真空度可以達到<5×10E-2Torr(冷態下參考值) |
外形尺寸 | 800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H) |
認證 | CE認證 |
質保期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
使用注意事項 | 注意:氣瓶上必須安裝一個減壓閥,以保證安全操作。 |
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