徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102性能 | ||
• 優異性價比:一臺設備即可為TEM、SEM、LM電鏡檢測提供理想試樣, 多種應用功能集于一體,高效并節約成本 • 安全:所有機械控制、樣品移動實現全自動化,可獲得重復性制樣結果 • 分段冷卻:對溫度敏感樣品得到充分保護,在優化條件下進行離子研磨, 保持樣品的原生態 • 操作簡便:內置應用參數庫,幫助文件,無論是初學者還是后期維護都 十分簡單 | ||
徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102技術參數 | ||
具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120° 至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動角度<360°,垂直擺動距離±5mm。實際操作參數 根據具體應用需要選擇(系統備有參考參數,也可自行設置參數并存儲) | ||
可選配樣品臺:TEM樣品臺(Φ3.0mm或Φ2.3mm),FIB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品 臺(對樣品35°或90°斜坡切割)等 | ||
SEM樣品臺可容納大樣品尺寸達:直徑25mm,高度12mm | ||
全無油真空系統,樣品室帶有預抽室,保證樣品交換時間<1分鐘 | ||
全電腦控制,觸摸屏操作界面,內置視頻觀察系統,可實時觀察樣品處理過程 |