技術應用鏈接:
特點：
·便捷的觸摸屏操作界面
·數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式
·異常報警功能
·自動/手動操作模式可切換
·儲存多套工藝程序
·遠程操控，數據導出
·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大
技術規格：
型號 | Tetra 100 | ||
控制系統 | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
BASIC PC | FULL PC | ||
操作系統 | Windows CE | Windows 10 | |
觸摸屏 | 3.5/7” | 7/15” | |
工藝氣體 | O2 Ar N2 Air SF6 CF4等 | ||
工藝氣路 | 1-3路（可選） | 1-10路（可選） | |
流量計 | MFC /防腐型MFC | ||
真空腔體 | 不銹鋼W400xD625xH400/100L 鋁合金W400xD625xH400/100L | ||
電極 | 材質 | 鋁/不銹鋼電極 | |
層數（可選） | 1-10（可選） 1-2層 1-5層 | ||
發生器
| 40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W | ||
真空壓力計（mba) | 皮拉尼傳感器（0-9.99) | ||
托盤 | 不銹鋼/鋁 | 實板/鏤空 | |
層數 | 1-10（可選） | ||
外形尺寸WDH（mm) | 600x850x1700(2100) | ||
電源 | AC400 V / 16 A | ||
真空泵抽氣速度 | 根據工藝選擇 | ||
選配件 | 單體導入模塊、遠程控制系統、防腐系統、氣浴、托盤/腔體冷卻系統、加熱模塊、RIE電極（刻蝕）、石英舟、干泵 | ||
關鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
Tetra100
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