真空氣氛管式爐主要運用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負極材料,新能源,LED發光材料,磨具等行業測定材料在一定氣氛條件下的專業設備。廣泛適用于高、中、低溫CVD 工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴散焊接以及真空或保護氣氛下熱處理。 真空氣氛管式爐的作用原理:
物體在通入一定氣體的爐膛內進行燒結的方法。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結,有助于燒結過程,提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。是在真空情況下,通入氣氛保護燒結物體在爐膛內進行燒結的方法。
真空氣氛管式爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結,透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結,氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結。有時為保護燒結調協也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫,鎢絲爐宜在真空條件下工作。
真空氣氛管式爐設備特點有:
1.采用高純石英管或剛玉管作為爐膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的潔凈度和真空度。
2.耐火、保溫材料全部采用*的輕質纖維制品,整機質量輕,能耗低。
3.加熱原件采用U型硅鉬(碳)棒或進口電阻絲。
4.溫控系統采用進口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩定性和重復性。