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半導體行業真空探針臺

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更新時間：2024-04-26 15:36:20瀏覽次數：95次

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鄭州科探儀器設備有限公司

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產品簡介

半導體行業真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

詳細介紹

半導體行業真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

該半導體行業真空探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測

真空腔體
	加熱型	冷熱型
腔體材質	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側開
加熱臺材質	304不銹鋼
內腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間距	75mm
加熱臺溫度	35-350℃	-196-350℃
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭	SMA轉BNC X 4
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培
探針數量	4探針
探針材質	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數	19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm