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蘇州華陸儀器儀表有限公司
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質量流量控制器傳感器采用微機械加工技術，實現微小流量測量，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
質量流量控制器傳感器采用微機械加工技術，實現微小流量測量，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
工作原理：
感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作，在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態響應時間大大提高，當傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布，如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:
式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。
產品特點：
·產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門
·微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升
·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化
·單個芯片的**流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高
·機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠
·結構的優化，流量計的壓力損失達到*小化
·采用國際*新的傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠
·開創零點自校功能，測量更準確
·多種氣體實際標定，全量程補償
·快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理
·規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定
·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求
·的流量計報警功能，使監控更可靠
·操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數
·運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的優選
技術參數：
·測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
·測量管徑：DN3，6，8，10
·流量范圍：30，60，80，100，300，600，800，1000sccm；10，20，30，50，80，100SLPM
·流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
·工作溫度范圍：-25℃-55℃
·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
·供電電源：24VDC±10%；
·輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
·環境溫度：-25℃-55℃
·顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。
外觀尺寸：
|
| L | D | H | G |
| DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
| DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
| DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
| DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
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