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日立集團
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集優異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性，結合眾多的自動化功能，可高效發揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察。
集優異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性，結合眾多的自動化功能，可高效發揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察。
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自動化功能
■Multi Zigzag，可實現多區域的大視野觀察
■Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告
■可滿足多種觀察需求的探測器
■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro
*配件
*配件
搭載了簡約UI，簡單操作，如同觸屏般直觀。
Multi Zigzag可以自動獲取連續的視野?？梢栽诓煌囊曇爸信臄z多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創建大視野圖像。
*配件
通過采用4分割+1單元的設計，對每個單元進行計算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設計十分精巧，且靈敏度高，實現了高分辨率和高信噪比。
SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察。
SU3800/SU3900全新研發的SEM/EDS一體化功能，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全面控制，可以提高測試效率，減輕了操作人員的負擔。
Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當中的4個不同方向的SEM信號進行演算分析，生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測量?？梢淮涡越邮账膫€不同方向的信號，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像。
SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸到由美國Media Cybernetics公司開發的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數據從SEM傳輸到圖像測量軟件。
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認到暗 色區域是對應于錯濃度較高的區域。
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
|---|---|---|---|
| 二級電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續 | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機驅動 | 5軸電機驅動 | ||
| 電子光學系統 | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動光圈 | ||
| 檢測系統 | 二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動光軸調整功能 | 自動光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動光軸調整（實時級別對齊） | |||
| 自動調整光束亮度 | |||
| 自動圖像調整功能 | 自動亮度和對比度控制（ABCC） | ||
| 自動對焦控制（AFC） | |||
| 自動標記和焦點功能（ASF） | |||
| 自動燈絲飽和度調整（AFS） | |||
| 自動光束對準（ABA） | |||
| 自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機旋轉、動態聚焦、圖像質量改善功能、數據輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、 各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺） | ||
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
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