JSM-6610A/JSM-6610LA分析型掃描電子顯微鏡,與日本電子公司的元素分析儀(EDS)組合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制,操作員只用一只鼠標,就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
大樣品室和馬達驅動樣品臺
樣品室對應樣品的直徑可達到200mm,5軸馬達驅動確保了高效率的樣品移動和觀察。
操作窗口
直觀的操作界面的設計,簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶
單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標,營造高效率的操作環境。用戶登錄時,即可加載已注冊過的設定。
同時顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。
微細結構測量
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像,保存在文件中。
標準的全對中樣品臺,能收錄三維照片
3D Sight(選配件),能夠進行平面測量和高度測量,實現立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析,配合連貫
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監視器,一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析(EDS)。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護簡便
工廠預置中心燈絲,十分便于更換。因此,可長期保持穩定的性能。此外,操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
可信賴的真空系統
真空系統使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件,體現了操作穩定,維護簡便的特色。
JSM-6610規格
保證分辨率 | 3.0nm(30kV) 8.0nm(3kV) 15nm(1kV) |
放大倍數 | 5至300,000x |
加速電壓 | 0.3kV至30kV |
電子槍 | 工廠預對中燈絲 |
聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
物鏡 | 錐形物鏡 |
樣品臺 | 全對中樣品臺 |
X-Y | 125mm-100mm |
Z | 5mm至80mm |
旋轉 | 360° |
傾斜 | -10°至+90° |
排氣系統 (高真空模式) | DPx1,RPx1 |
排氣系統 (低真空模式) | DPx1,RPx2 |