我們會努力按照原廠技術參數翻譯編輯,如技術參數中英文有差異,以英文參數為準。
日本Horiba SEC-E60氣體質量流量控制器技術規格:
適用氣體種類*1:N2,O2,Air,H2,Ar,C3H8,CH4,C4H10
氣體接觸部材質:SUS316,氟化橡膠,磁性不銹鋼
閥門型號:非通電時 關閉
標準流量量程(N2響應F.S.):50/100SLM
標準流量量程(適于SEC系列):5-99%F.S.
流量測量范圍(適于SEF系列):0-99%F.S.
響應速度:1秒以內(T98)
流量精度:±1%F.S.
直線性:±0.5%F.S.
反復性:±0.5%F.S.
工作差壓值(適于SEC系列):100-300kPa(d)
使用壓力(適于SEF系列):350kPa(G)以下
耐壓:1MPa(G)以下
驅動電源:+15VDC±5% 50mA -15VDC±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2:3/8SWL類型
*1:關于記載以外的氣體種類,請另行咨詢協商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:較大值300kPa(G);SEC-70/80:較大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。