我們會努力按照原廠技術參數翻譯編輯，如技術參數中英文有差異，以英文參數為準。
美國ALICAT MCE & MCV 系列數字式質量流量控制器(真空型)參數：
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 20 slpm 滿量程
艾里卡特®MCV 系列 質量流量控制器專門設計用于要求嚴密切斷的應用，例如真空鍍膜、噴 鍍工藝，其集成式氣動切斷閥可提供氦氣泄漏率僅為 1 x 10 -9 atm scc/sec 的正向切斷 MCVS 系列適用于腐蝕性氣體。
精度(調零后標準條件下)： ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度選配(調零后標準條件下)：±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)滿量程 5SCCM 以下設備無高精度
重復性： ±0.2% F.S
零點漂移&滿量程漂移： 0.02% F.S / oC / Atm
工作范圍 / 量程可調比：MCV 系列質量流量控制器 0.5% ～ 100 F.S / 200:1 ；MCVS 系列質量流量控制器 1% ～ 100 F.S / 100:1
很大可控流量： 102.4% F.S
典型響應時間： 100 毫秒(可調整)
啟動預熱時間： < 1 秒
閥門泄漏率： 不超過 1 x 10-9 atm scc/sec (氦檢)
標準工況： (STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)
工作溫度： ?10 ~ +50 oC
工作濕度范圍 (非冷凝) ：0 ～ 100
內部很大工作壓力(靜壓)： 145 psig
很限壓力： 175 psig
對安裝方式/方向的要求： 無
閥門狀態： 閥門常閉
防護等級 ：IP40
材質 ：CV: 316L,303 & 302 不銹鋼, Viton®, 硅膠 RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁 , 黃銅, 430FR 不銹鋼, 硅, 玻 璃, PCTFE。
MCVS: 標準采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根據特殊氣體選用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene。
