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北京世紀科信科學儀器有限公司
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平板掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LSCL-AFM
◆實現探針和樣品組合式移動掃描的商業化原子力顯微鏡；
◆采用三軸獨立閉環壓電平移式掃描臺，實現大范圍高精度掃描；
◆ 三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測；
◆ 電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現快速自動化檢測；
◆ 龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺；
◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
◆ 高倍輔助光學顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域；
◆ 閉環壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優于99.5%。
| 工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | 樣品重量 | ≤0.5Kg |
| 選配模式 | 摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | Z升降臺 | 步進電機驅動控制，最小步長10nm |
| 力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | Z升降行程 | 15mm（可選20mm，25mm） |
| XY掃描方式 | 樣品驅動式掃描，閉環壓電平移式掃描臺 | 光學定位 | 5X光學物鏡（可選10X/20X物鏡） |
| Z掃描方式 | 探針驅動式掃描 | 攝像頭 | 500萬像素數字CCD |
| XY掃描范圍 | 閉環100×100um | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
| Z掃描范圍 | 5um | 掃描角度 | 0~360° |
| 掃描分辨率 | 閉環XY向0.5nm，Z向0.05nm | 運行環境 | Windows XP/7/8/10操作系統 |
| XY樣品臺 | 步進電機驅動控制，移動精度1um | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
| XY移動行程 | 100×100mm（可選200×200mm，300×300mm） | 儀器結構 | 龍門架式掃描頭，大理石底座 |
| 樣品載物臺 | 直徑100mm（可選200mm，300mm） | 減震方式 | 彈簧懸掛式（可選主動式減震臺） |
應用案例
砷化鎵晶圓/掃描范圍0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm
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