IDS3010激光干涉儀應用領域
IDS3010充分滿足高分辨位移于定位的工業和科研需要,可應用于
長度測量、同步輻射、精密儀器、半導體工業以及顯微鏡。
IDS3010激光干涉儀產品特點
+ 設計緊湊(50mm x 55mm x 195mm),適合工業集成
+ 工業化界面,含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面
+ 測量速度快,定位樣品采樣帶寬10MHz
+ 環境補償單元,不同濕度、壓力環境中校正反射率參數提高測量精度
+ 校正簡單,配備可見激光(650nm)用于校正測量激光(1530nm)
+ 測量精度高,探測器分辨率高達1 pm