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洛陽西格馬高溫電爐有限公司
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三路質子實驗室混氣系統三路質子流量控制器主要用于實驗室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實驗室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環境
三路質子實驗室混氣系統
三路質子流量控制器主要用于實驗室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實驗室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環境.該氣體流量控制器可以外接3種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強.三路質子氣體配比器氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.
應用范圍：1.半導體制造行業中氣體流量控制2.各種真空鍍膜設備3.材料表面處理4.氣體燃燒控制5.混和配氣系統6.環境檢測與分析設備7.分析儀器的氣體流量計量與控制8.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所
技術參數
| 電爐名稱 | 三路質子氣體流量控制器 |
| 流量計類型 | 質子流量計 |
| 流量計管芯 | 304不銹鋼 |
| 調節閥類型 | 電磁調節閥 |
| 管道常態 | 常閉 |
| 流量計外殼 | 黑色鋁殼 |
| 氣體種類 | 3種 |
| 接口尺寸 | 1/4" |
| 測量精度 | ±1.0%F.S |
| 線性度 | ±0.5%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 壓力范圍 | -0.1-0.15MPa |
| A路氣體測量范圍 | 0～100SCCM |
| B路氣體測量范圍 | 0～200SCCM |
| C路氣體測量范圍 | 0～500SCCM |
| 流量控制范圍 | 2%～99% |
| 零點溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
| 響應時間 | 2S |
| 工作環境溫度 | (15～50℃) |
| 精度保證溫度 | (15～35℃) |
| 供電電源 | 220V50Hz |
| 設備重量 | 43kg |
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