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深圳維爾克斯光電有限公司
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Nano-PDQ 系列納米定位平臺是高速精密多軸壓電納米定位系統。Nano-PDQ 系列占地面積小，中心孔徑大，同時還具有快速響應和亞納米級精度。Nano-PDQ 系列納米定位平臺非常適合需要高掃描速率或大負載能力的應用。Nano-PDQ 系列具有最多三個軸的平行、非耦合運動，以及集成的位置傳感器，利用MCL專有的 PicoQ® 技術在閉環控制下提供、可重復的位置測量和亞納米級精度。
XY兩軸壓電納米定位平臺，多種型號可選，快速響應，亞納米精度
自上個世紀九十年代開始Mad City Labs, Inc （MCL）一直是亞納米定位分辨率領域的二軸納米定位平臺MCL的設計商，制造商。MCL的MCL雙軸納米位移臺產品線涵蓋了多個行程，多種不同的負重能力，能滿足客戶的不同應用需求。
Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL：
Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL是超扁平雙軸壓電納米定位系統。扁平的設計使 Nano-Bio系列二維納米定位平臺能夠輕松集成到現有的倒置顯微鏡、原子力顯微鏡和其他空間有限的儀器中。大中心孔徑使 Nano-Bio二維納米定位平臺能夠適應所有主要顯微鏡制造商的鏡頭。Nano-Bio 系列二軸納米定位平臺MCL包括采用 PicoQ® 技術的內部位置傳感器，可在閉環反饋控制下提供、可重復的位置測量和皮米精度。Nano-Bio100、Nano-Bio200 和 Nano-Bio300 由鋁制成，是光學顯微鏡的理想選擇。Nano-Bio2M 熱穩定性更高，整體尺寸更小。
主要應用：
-光學顯微鏡，易于改裝
-熒光成像
-閉環原子力顯微鏡（AFM）掃描儀
-納米光刻技術
-光學鑷子
-超分辨率顯微鏡
Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL規格參數：
| 型號 | Nano-Bio2M | Nano-Bio100 | Nano-Bio200 | Nano-Bio300 |
| 行程 | 50*50 um | 100*100 um | 200*200 um | 300*300 um |
| 分辨率 | 0.1 nm | 0.2 nm | 0.4 nm | 0.6 nm |
| 共振頻率（X軸） | 500 Hz ±20% | 450Hz ±20% | 400Hz ±20% | 260Hz ±20% |
| 共振頻率（Y軸） | 400 Hz ±20% | 350Hz ±20% | 300Hz ±20% | 200Hz ±20% |
| θroll , θpitch(typical) | ≤1 µrad | |||
| θyaw (typical) | ≤3 µrad | |||
| 剛度 | 1.0 N/µm | |||
| 負載（橫向） | 0.5 kg | |||
| 負載（縱向） | .0.2 kg | |||
| 材質 | 鋁、殷鋼或鈦 | |||
Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL
Nano-PDQ系列納米定位平臺：
Nano-PDQ 系列納米定位平臺是高速精密多軸壓電納米定位系統。Nano-PDQ 系列占地面積小，中心孔徑大，同時還具有快速響應和亞納米級精度。Nano-PDQ 系列納米定位平臺非常適合需要高掃描速率或大負載能力的應用。Nano-PDQ 系列具有最多三個軸的平行、非耦合運動，以及集成的位置傳感器，利用MCL專有的 PicoQ® 技術在閉環控制下提供、可重復的位置測量和亞納米級精度。
主要應用：
-快速多軸掃描
-光陷阱校準
-粒子跟蹤
Nano-PDQ系列納米定位平臺規格參數：
| 型號 | Nano-FDQ250 | Nano-FDQ350 | Nano-FDQ275 | Nano-FDQ375 |
| X軸行程 | 50 um | 50 | 75 | 75 |
| Y軸行程 | 50 um | 50 | 75 | 75 |
| Z軸行程 | / | 50 | / | 50 |
| 分辨率 | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.15 nm | 0.15 nm |
| X軸共振頻率 | 1080 Hz ±20% | |||
| Y軸共振頻率 | 840 Hz ±20% | |||
| Z軸共振頻率 | 265 Hz ±20% | |||
| 掃描速度 | 到400 Hz | |||
| θpitch(typical) | ≤1 µrad | |||
| θroll(typical) | ≤1 µrad | |||
| θyaw (typical) | ≤3 µrad | |||
| 剛度 | 3.0 N/µm | |||
| 負載（橫向） | 0.5 Kg | |||
| 負載（縱向） | 0.2 Kg | |||
| 材質 | 鋁、殷鋼或鈦 | |||
Nano-PDQ納米定位平臺
Nano-PDQ系列多軸納米定位平臺：
Nano-MET2二維納米定位平臺和 Nano-MET3 是超低噪聲、高精度壓電納米定位系統，具有皮米定位分辨率。內部位置傳感器采用MCL PicoQ® 技術，可在閉環控制下提供、可重復的位置測量，是要求苛刻的計量應用的理想之選?？商峁┛量淘恿︼@微鏡應用所需的超快響應。
主要應用：
-高速、高分辨率定位
-測量
-AFM
-SPM
Nano-MET系列多軸納米定位平臺規格參數：
| 型號 | Nano-MET2 | Nano-MET3 |
| XY軸行程 | 75 um | 75 um |
| Z軸行程 | / | 5 um |
| XY軸分辨率 | 0.15 nm | |
| Z軸分辨率 | 0.005 nm | |
| XY軸共振頻率（MET2） | 1.4 kHz | |
| XY軸共振頻率（MET3） | 1.0 kHz | |
| Z軸共振頻率（MET3） | 13.5 kHz | |
| 負載（橫向） | 100 g | |
| 負載（縱向） | 100 g | |
| 材質 | 鋁 | |
Nano-MET系列多軸納米定位平臺
Nano-BioS系列MCL雙軸納米位移臺：
與廣受歡迎的 Nano-Bio 系列一樣，新型 Nano-BioS 系列MCL雙軸納米位移臺也是超扁平雙軸壓電納米定位系統，可輕松集成到現有的倒置顯微鏡、原子力顯微鏡和其他空間有限的儀器中。Nano-BioSMCL雙軸納米位移臺具有較大的矩形中心孔，可容納用于標準 3 英寸載玻片和其他類似尺寸生物樣品（如 Lab-Tek 載玻片）的重入式樣品架。Nano-BioS 系列二維納米定位平臺包括采用 Mad City Labs （MCL）PicoQ® 技術的內部位置傳感器，可在閉環反饋控制下提供、可重復的位置測量和皮米分辨率。Nano-BioSMCL雙軸納米位移臺由陽極氧化鋁制成，提供三種運動范圍： 100微米、200微米和300微米。
主要應用：
-孔徑大小適合 3 英寸玻片
-光學顯微鏡，易于改裝
-熒光成像
-閉環原子力顯微鏡（AFM）掃描儀
-納米光刻技術
-光學鑷子
-超分辨率顯微鏡
Nano-BioS系列MCL雙軸納米位移臺規格參數：
| 型號 | Nano-BioS100 | Nano-BioS200 | Nano-BioS300 |
| 行程 | 100*100 um | 200*200 um | 300*300 um |
| 分辨率 | 0.2 nm | 0.4 nm | 0.6 nm |
| 共振頻率（X軸） | 400Hz ±20% | 350Hz ±20% | 300Hz ±20% |
| 共振頻率（Y軸） | 280Hz ±20% | 230Hz ±20% | 180Hz ±20% |
| 剛度 | 1.0 N/µm | ||
| θroll , θpitch(typical) | ≤1 µrad | ||
| θyaw (typical) | ≤3 µrad | ||
| 負載（橫向） | 0.5 kg | ||
| 負載（縱向） | 0.2 kg | ||
| 材質 | 鋁、殷鋼或鈦 | ||
Nano-BioS系列MCL雙軸納米位移臺
Nano-H系列XY軸納米壓電定位平臺：
Nano-H 系列XY軸納米壓電定位平臺是一款結構緊湊的雙軸壓電納米定位平臺，以經濟實惠的價格提供的定位性能。大中心孔徑使 Nano-H 系列XY軸納米壓電定位平臺非常適合需要透射光束的應用，或安裝大體積組件（如多根光纖、光學器件和計量探頭）的應用。內部位置傳感器采用 PicoQ® 技術，與 Nano-Drive® 控制器配合使用時，可提供、可重復的位置測量和皮米精度。Nano-H 系列XY軸納米壓電定位平臺有多種材質可供選擇，包括鋁、鈦或英鋼。
主要應用：
-光學顯微鏡
-AFM
-熒光成像
-光學
Nano-H系列XY軸納米壓電定位平臺規格參數：
| 型號 | Nano-H100 | Nano-H50 |
| 行程 | 100*100 um | 50*50 um |
| 分辨率 | 0.2 nm | 0.1 nm |
| 共振頻率（X軸） | 500 Hz ±20% | |
| 共振頻率（Y軸） | .250 Hz ±20% | |
| 剛度 | 1.0 N/µm | |
| θroll , θpitch(typical) | ≤1 µrad | |
| θyaw (typical) | ≤3 µrad | |
| 負載（橫向） | 0.5 kg | |
| 負載（橫向） | 0.2 kg | |
| 材質 | 鋁、殷鋼或鈦 | |
Nano-H系列XY軸納米壓電定位平臺
Nano-T系列雙軸納米定位器，：
Nano-T 系列雙軸納米定位器，是經濟型多軸壓電納米定位系統，有多種配置可供選擇。Nano-T 系列在 X 和 Y 軸上的運動范圍可達 200 微米，在 Z 軸上的運動范圍可達 50 微米。內部位置傳感器采用專有的 PicoQ® 技術，在閉環控制下提供、可重復的位置測量和皮米精度。Nano-T 系列雙軸納米定位器，非常適合需要精確壓電納米定位，但整個平臺高度并不重要的應用。如果需要超薄系統，則應考慮Mad City Labs的 Nano-Bio2和 Nano-LP系列。
主要應用：
-多軸校準
-熒光成像
-閉環原子力顯微鏡（AFM）掃描儀
-超分辨率顯微鏡
Nano-T系列雙軸納米定位器，規格參數：
| 型號 | Nano-T11 | Nano-T22 | Nano-T112 | Nano-T115 | Nano-T22 2 | Nano-T22 5 |
| 行程（X，Y） | 100 um | 200 um | 100 um | 100 um | 200 um | 200 um |
| 行程（Z） | / | / | 20um | 50um | 20um | 50um |
| 分辨率（X，Y） | 0.2 nm | 0.4 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.4 nm | 0.4 nm |
| 分辨率（Z） | / | / | 0.04 nm | 0.1 nm | 0.04 nm | 0.1 nm |
| 共振頻率（X軸） | 450Hz ±20% | 400Hz ±20% | 450Hz ±20% | 450Hz ±20% | 400Hz ±20% | 400Hz ±20% |
| 共振頻率（Y軸） | 250Hz ±20% | 200Hz ±20% | 250Hz ±20% | 250Hz ±20% | 200Hz ±20% | 200Hz ±20%
|
| 共振頻率（Z軸） | / | / | 450Hz ±20% | 350Hz ±20% | 450Hz ±20% | 350Hz ±20% |
| 剛度 | 1.0 N/µm | |||||
| θroll , θpitch(typical) | ≤1 µrad | |||||
| θyaw (typical) | ≤3 µrad | |||||
| 負載（橫向） | 0.5 kg | |||||
| 負載（橫向） | 0.2 kg | |||||
| 材質 | 鋁或殷鋼 | |||||
Nano-T系列雙軸納米定位器
Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺：
Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺是一款重型雙軸壓電納米定位平臺，專為承載重型實驗組件而設計。Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺的承重能力為5千克，可用于低溫光學顯微鏡低溫恒溫器的精確定位等應用。低矮的外形和超大的孔徑使 Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺可以集成到現有的光學顯微鏡中。內部位置傳感器采用 PicoQ® 技術，可在閉環控制下提供皮米級精度的、可重復位置測量。Mad City Labs的特殊 Nano-Max 系統的運動范圍可超過標準的50um。
主要應用：
-精密低溫恒溫器定位
-低溫光學顯微鏡
-量子點研究
Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺規格參數：
| 型號 | Nano- Max50 |
| X軸行程 | 50 um |
| Y軸行程 | 50 um |
| 分辨率 | 0.1 nm |
| X軸共振頻率 | 1.5 kHz ±20% |
| Y軸共振頻率 | 1.0 kHz ±20% |
| 剛度 | 5.0 N/µm |
| θroll , θpitch(typical) | ≤1 µrad |
| θyaw (typical) | ≤3 µrad |
| 負載 | 5 Kg |
| 材質 | 鋁 |
Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺
Nano-HS系列多軸納米定位臺：
Nano-HS 系列是一種高速、多軸、精密壓電納米定位系統，具有皮米定位分辨率。Nano-HS 可配置為提供 XY 或 XYZ 運動，具有的多功能性。內部位置傳感器采用專有的 PicoQ® 技術，可在閉環控制下提供、可重復的位置測量。緊湊的占地面積、超低噪聲特性和 5kHz 的 Z 軸諧振頻率，使其非常適合要求本底噪聲小于 10 皮米和高速性能的計量應用。
主要應用：
-高速、高分辨率定位
-計量
-AFM
-SPM
Nano-HS系列多軸納米定位臺規格參數：
| 型號 | Nano- HS2 | Nano- HS3 |
| X、Y軸行程 | 10 um | 10 um |
| Z軸行程 | / | 10um |
| 分辨率 | 0.01 nm | |
| X、Y軸共振頻率 | 1.5 kHz ±20% | 1.0 kHz ±20% |
| Z軸共振頻率 | / | 5.0 kHz ±20% |
| 掃描速度 | 達300Hz | |
| 剛度 | 8N/µm | |
| 負載（橫向） | 0.1 kg | |
| 負載（縱向） | 0.1 kg | |
| 材質 | 鋁、殷鋼或鈦 | |
Nano-HS系列多軸納米定位臺
Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺：
Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺是一種結構緊湊的雙軸壓電納米定位系統，由鋁制成。Nano-M250 尺寸小巧，可輕松集成到納米光刻和掃描電子顯微鏡等應用的現有儀器中。內部位置傳感器采用 PicoQ® 技術，可在閉環控制下提供皮米級精度的、可重復位置測量。Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺還提供適配高真空和超高真空兼容型號。Mad City Labs可為客戶提供定制修改，包括運動范圍。
主要應用：
-校準及對準
-納米光刻技術
-掃描顯微鏡
Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺規格參數：
| 型號 | Nano- M250 |
| X軸行程 | 50 um |
| Y軸行程 | 50 um |
| 分辨率 | 0.1 nm |
| X軸共振頻率 | 370 Hz ±20% |
| Y軸共振頻率 | 300 Hz ±20% |
| 剛度 | 1.0 N/µm |
| θroll , θpitch(typical) | ≤1 µrad |
| θyaw (typical) | ≤3 µrad |
| 負載（橫向） | 0.5 kg |
| 負載（縱向） | 0.2 kg |
| 材質 | 鋁 |
Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺
Nano-SPM200 XY納米位移臺：
Nano-SPM200 XY納米位移臺是一種緊湊型雙軸（XY）鋁制壓電納米定位系統。Nano-SPM200 XY納米位移臺的緊湊設計使其非常適合集成到掃描探針顯微鏡系統中。內部位置傳感器與閉環 Nano-Drive 控制器相結合，可提供亞納米級的定位分辨率和長期穩定性。每個軸的獨立撓性導軌運動提供了機械隔離，確保軸之間的串擾最小。樣品可安裝在頂部平面的任何位置，并通過四個螺紋安裝孔固定。Nano-SPM200 XY納米位移臺是與Mad City Labs（MCL）的 MadPLL® 系統配合使用的理想 XY 掃描平臺。
主要應用：
-原子力顯微鏡（AFM）、掃描探針顯微鏡（NSOM）和其他類型的掃描探針顯微鏡（SPM）
-XY軸高精度對準
-納米光刻技術
Nano-Max50 XY納米位移臺規格參數：
| 型號 | Nano-SPM200 |
| X軸行程 | 200 um |
| Y軸行程 | 200 um |
| 分辨率 | 0.4 nm |
| X軸共振頻率 | 300Hz ±20% |
| Y軸共振頻率 | 300Hz ±20% |
| 負載（橫向） | 0.5 Kg |
| 負載（縱向） | 0.2 Kg |
| 材質 | 鋁 |
Nano-SPM200 XY納米位移臺
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