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沈陽科晶自動化設備有限公司
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更新時間:2022-10-05 12:09:11瀏覽次數:232次
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鈣鈦礦鍍膜機
產品簡介:鈣鈦礦鍍膜機主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作,廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域。鈣鈦礦鍍膜機工作過程中樣品位于真空室上方,蒸發源位于真空室下方,向上蒸發鍍膜,且蒸發源帶有擋板裝置,防止蒸發源被污染。
主要特點
1、樣品位于真空室上方,蒸發源位于真空室下方,向上蒸發鍍膜,且蒸發源帶有擋板裝置。
2、設有烘烤加熱功能,可在鍍膜過程中加熱樣品,烘烤加熱溫度為180℃。
3、設有斷水、斷電連鎖保護報警裝置及防誤操作保護報警裝置。
技術參數
1、鍍膜室:不銹鋼材料,采用方形前后開門結構,內帶有防污板,腔室尺寸約為600mm×450mm×450mm
2、真空排氣系統:采用分子泵+機械泵系統
3、真空度:鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa
4、系統漏率:≤1×10-7Pa
5、蒸發源:安裝在真空室的下底上;有機蒸發源4個、容積5ml,2臺蒸發電源,可測溫、控溫,加熱溫度 400℃,功率0.5KW;無機蒸發源4套、容積5ml,2臺蒸發電源,加熱電流300A,功率3.2KW; 蒸發源擋板采用自動磁力控制方式控制其開啟
6、樣品架:安裝在真空室的上蓋上,可放置Ø120mm的樣品、載玻片,旋轉速度0-30rpm
7、加熱溫度:RT-180℃,測溫、控溫
8、膜厚控制儀:石英晶振膜厚控制儀,膜厚測量范圍0-999999Å
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