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沈陽科晶自動化設備有限公司
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產品型號
品 牌
廠商性質其他
所 在 地沈陽市
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更新時間:2023-06-30 18:40:24瀏覽次數:183次
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500oC真空熱壓機VHP-5T-4
產品簡介:500ºC真空熱壓機VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機,專門用于晶片的焊接和薄膜轉移,其可處理樣品尺寸為100mm×100mm,工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品實加的壓力為6T(七月份更改為壓力40T)。
500ºC真空熱壓機VHP-5T-4操作視頻
500ºC真空熱壓機VHP-5T-4
主要特點
1、加熱平臺中間嵌有1000W的加熱管,可達到快速加熱的效果;加熱平臺頂端設有水冷管(當工作溫度高于200 ℃時請注入冷卻水(>15L/min)),以達到快速冷卻的效果。
2、采用兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,且可設置30段升降溫程序,采用PID方式進行溫度調節,并帶有過熱和斷偶保護功能。
3、使用控溫軟件和PC接口可將溫度程序和溫度曲線導入計算機。
4、數字壓力顯示器安裝在真空腔體外,可設置其壓力,當壓力達到設置值時電機將自動停止。
5、液壓裝置和加熱臺都置于真空腔體內,且腔體采用304不銹鋼制作,并焊有加強筋(防止真空狀態下腔體變形)。
6、真空腔體前端設有觀察窗。
7、一個高靈敏度的真空計安裝于真空腔體上,測量內部的真空度。
技術參數
1、電源:單相AC208V-240V 50Hz/60Hz
2、功率:2500W
3、加熱平臺:采用高溫合金鋼制成,可承受溫度500℃,尺寸135mm×135mm,兩平臺間可移動距離15mm
4、液壓泵:40T的電動液壓機與真空腔體相連接,壓力控制精度為±0.01MPa(0.1kg/cm2),自動壓力控制并帶有數顯
5、工作溫度:500℃
6、升溫速率:<10℃/min
7、控溫精度:±1℃
8、真空度:10E-3torr
9、內部腔體尺寸:372mm×420mm×480mm
10、觀察窗口:Ø150mm
產品規格
尺寸:600mm×500mm×400mm
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