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西安奧信自動化儀表有限責任公司
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AX10FD氣體流量計微小流量計微小氣體質量流量計工作原理AX10FD系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭
AX10FD氣體流量計 微小流量計 微小氣體質量流量計
工作原理
AX10FD 系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校
正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體
的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包
裝殼內。
用途與特點
質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術指標
量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0~1,2,3,5,10）SLM
準確度 +1.5%F.S
線性 +0.5~1.5%F.S
重復精度 +0.2%F.S
響應時間 10sec 氣特性：（1~4）sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作環境溫度 0~70℃
數字量 RS485 MODBUS 協議
模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
電特性：SLM
供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材質 316L 不銹鋼
密封材質 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標定.
質量流量的單位規定為:SCCM(標準毫升/分);SLM(標準升/分)
注意事項
加裝過濾器
使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，房子液體回流損壞流量計。
使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）,氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應在定貨時聲明。
使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。
安裝位置問題
本控制器安裝時***保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感， 可以任意位置安
裝，非水平位置安裝時若發現零點偏移，可以調整零點后在工作。
閥口密封問題
質量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶應另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應該在質量流量控制器進出氣口各加一個截止閥，以保證工作安全。長期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在 2%F.S 以內, 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的 2%, 則應進行維修。
標定與不同氣體的換算
本流量質量控制器出廠通常用氮氣(N ₂ )標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時與銷售人員特別申明。
用氮氣標定的流量控制器用戶使用其它氣體時，可以通過附錄的轉換系數進行換算。
AX10FD氣體流量計 微小流量計 微小氣體質量流量計
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