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深圳市科晶智達科技有限公司
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聯系方式:廖勝眉查看聯系方式
更新時間:2022-12-02 16:26:50瀏覽次數:414次
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VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐
VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐。此設備主要由3部分組成:3溫區加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,溫度為1200℃),溫控系統可設置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉提拉機構,其提拉速度為0.8-50mm/hour.
● 3溫區加熱: 150mm+300mm+150mm,三個溫區由獨立的溫控系統控制,可創造出較大的溫度梯度 ● 工作溫度: 1200℃(小于1小時) ● 連續工作溫度: 1100oC ● 功率: 208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相 ● 功率: 5KW
● PLC觸摸屏控制面板,可設置和控制提拉行程,提拉速度和旋轉速度等 ● 溫控系統:可設置28段溫度段,采用PID方式調節溫度,其控溫精度為±0.1℃ ● 升溫速率: 0~10oC / min ● 提拉速度: 0.8-50mm/h (可調) ● 下降速度: 40 mm/minute ● 籽晶桿轉速: 0.1-23 RPM(可調)
300mm
● 腔體直徑為Φ135mm(設計為開啟式),可直徑為Φ80mm的坩堝 ● 加熱區長度600mm ● 可選購真空密封件:直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭
● 水冷提拉桿直徑:28mm ● 可定制的提拉速度范圍:0.03-12mm/h(客戶根據實際需求進行定制,具體情況可與本公司銷售聯系) ● 提拉行程:400mm ● 手動操作實現快速升降 ● 選配:旋轉速度:0.03-50r/min(根據要求定制旋轉機制以及旋轉速度范圍)
CE認證
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