高性價比金屬密封產品,高精度,多氣體多量程,自動調零,量程2sccm-30slm,全金屬密封,通訊方式:模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet 詳細參數 產品技術指標 產品型號 | CS200-D | 量程(N2) | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | 精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | ±0.35% F.S.(<35% F.S.) | 重復精度 | ±0.2% FS | 線性 | ±0.5% FS | 響應時間 | ≤0.8 sec (SEMI E17-0600) | 閥類型 | Normally Closed or Normally Open | 溫度系數 | Zero: ≤±0.02% F.S./℃;Span: ≤±0.05% F.S./℃ | 零點漂移指標 | <0.6%F.S. per year without autozero | 表面粗糙度 | 25µinch | 工作環境溫度 | (0~50)℃ | 數字信號接口 | ital: RS485 DeviceNetTM | 模擬流量輸出信號 | 0-5V和4-20mA | 模擬流量控制信號 | 0-5V和4-20mA | 電源要求 | ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) | 電連接器 | D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale | 工作壓差范圍 | (0.05~0.35) Mpa(≤10slm) (0.1~0.35) Mpa(>10slm) | 耐壓 | 3MPa | 漏率 | 1×10-10 atm·cc / sec He(1×10-11 Pa·m3 / sec He) | 密封材料 | Metal | 表面化學成分 | Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 | 接頭尺寸 | VCR1/4” M SwagelokΦ6,Swagelok1/4” W-seal,C-seal | 重量 | 1.2kg | |