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上海淞涵精密設備科技有限公司
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流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制
流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
詳細參數
標準: 氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為： 標準溫度………………0℃（273.15K） 標準壓強………………101325Pa 輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA 輸入設定電壓…………0～+5.00V 輸出電壓檢測…………0～+5.00V 產品技術指標 滿量程流量范圍（N2） 5SCCM～10SLM/MIN 控制范圍 2～100％F.S. 閥類型（及閥初始狀態） 電磁調節閥（常閉） 準確度 ±1.5％F.S. 線性 ±0.5～1.5％F.S. 重復精度 ±0.2％F.S. 響應時間 ≤7sec 工作溫度范圍 5～45℃ 工作壓差 0.1～0.5MPa 耐壓 3MPa 漏氣率 1×10-8atm.cc/sec He 通道濕材料 316L不銹鋼、密封材料 靜密封材料 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） 電連接器 D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale 動密封材料 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） 接頭選擇 VCR 1/4” Swagelok 1/4”或φ6、φ3 重量 1.1Kg
輸入和輸出:
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