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杭州庚雨儀器有限公司
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Turbo-V3K-G（如V2K-G一樣）不僅僅是一臺泵
Turbo-V 3K-G（如 V 2K-G 一樣）不僅僅是一臺泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設計的專用分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經過優化，可以工作在高純氬氣氛圍下和溫度的環境中。此外，它還擁有內置的控制器件、一體化的放空和吹掃閥以及免維護的軸承。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 3K-G 渦輪分子泵成為鍍膜工業出色的解決方案。
特性：
1，“一體化"系統
2，同類產品中抽速更高
3，無油、耐用、可靠
4，MTTF 超過 200000 小時
5，轉子設計大幅度降低了重量和機械應力
6，擁有的轉子軸配合技術可大大降低轉子拉伸應力
7，采用了安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus）
渦輪分子泵應用范例：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到更高性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統
| 領域 | 應用 | 詳細說明 |
| 質譜和分析儀器 |
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| 科研中的真空應用 |
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| 工業真空加工 |
| 薄膜沉積：
設備加工：
一般工藝：
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| 納米技術儀器 |
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技術規格：
| 抽速： | N2：2200 L/s | He：1900 L/s | Ar：2050 L/s |
| 壓縮比： | N2：> 1 × 107 | He：6 × 103 | Ar：1 × 108 |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） | < 1 × 10-8 mbar | ||
| 入口法蘭 | ISO 250F | ||
| 前級管道法蘭 | KF 40 NW | ||
| 額定轉速 | 31800 rpm | ||
| 使用推薦前級泵，無氣體負載的啟動時間 | < 6 分鐘 | ||
| 前級壓力 | < 0.5 mbar | ||
| 推薦的最小前級泵 | > 60 m3/h（取決于氣體流速要求） | ||
| 工作位置 | 任意位置 | ||
| 冷卻要求 | 水 | ||
| 重量 ISO (250) | 52 kg（114.63 磅） |
* 根據德國工業標準 (DIN) 28 428。
Turbo-V 3K-G 外形圖
Turbo-V 3K-G 抽速與入口壓力關系圖
Turbo-V 3K-G 壓縮比與前級壓力關系圖
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