真空防腐型勻膠機性能優點:
1.真空防腐型勻膠機主機機箱采用PP外殼材料,耐腐蝕易清潔
2.內腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料(HDPE)
3.采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
4.排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
5.透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。
真空防腐型勻膠機技術參數: 旋涂程序:至多可存100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒 轉動速度:0-10,000rpm(更高速可選)
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 :<±1rpm
轉速調節精度及重復性:1rpm
CY-S-V真空防腐型勻膠機帶真空數字顯示功能
工藝時間設定:0-3,000sec/step,時間設置精度:0.1sec
支持晶圓尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)
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