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上海恒商精密儀器有限公司
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HCP621G-ELP專為橢圓偏振儀設計。其專用上蓋支持70°的出入射角度，臺體溫度范圍 -190℃ ~ 600℃，同時允許光學觀察和樣品氣體環境控制。上蓋與底殼構成一個氣密腔，可往內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。
功能特點 |
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橢偏儀專用冷熱臺，70°出入射角 |
-190℃~600℃ 可編程控溫（負溫需配液氮制冷系統） |
28 mm x 30 mm加熱區 |
可充入保護氣體的氣密腔 |
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK |
*可做定制或改動，詳詢上海恒商 |
溫控參數 | |
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溫度范圍 | -190℃ ~ 600℃（負溫需配液氮制冷系統） |
加熱塊材質 | 銀 |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制 |
加熱/制冷速度 | +150℃/min （100℃時） -50℃/min （100℃時） |
最小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min |
溫度分辨率 | 0.01℃ |
溫度穩定性 | ±0.05℃（>25℃） ±0.1℃（<> |
軟件功能 | 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線 |
光學參數 | |
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適用光路 | 斜反射光路 |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
最小物鏡工作距離 | 13.2 mm *截面圖中WD |
入射角度/出射角度 | 70.0° / 70.0° |
負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結構參數 | |
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加熱區/樣品區 | 28 mm x 30 mm |
樣品腔高 | 4.3 mm *樣品厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度 |
放樣 | 水平抽出上蓋后置入樣品 |
氣氛控制 | 氣密腔，可充入保護氣體 |
外殼冷卻 | 可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
安裝方式 | 水平安裝 或 垂直安裝 |
臺體尺寸/重量 | 97 mm x 84 mm x 36.5 mm / 500g |
配置列表 | |
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基本配置 | HCP621G-ELP冷熱臺 、mK2000B溫控器 |
可選配件 | 冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統 、外殼循環水冷系統 、 |
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