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教學型真空鍍膜機

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產品型號SVZK-300

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更新時間：2023-04-14 18:11:18瀏覽次數：318次

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產品簡介

簡要描述：教學型真空鍍膜機

詳細介紹

SVZK-300型多功能真空實驗儀是一個真空實驗平臺，適合于對學生開展真空實驗教學。可進行真空蒸鍍、磁控濺射，它也可以在高純

氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析。傳統的真空實驗儀器大都由金屬部

件組成，很多主要的實驗過程不直觀，學生只能通過儀表了解物理過程。本設備真空室部分采用高強度玻璃制造，儀器結構緊湊合理，操作

簡單，物理過程直觀，容易引起學生的興趣，利于提高學生的實驗能力和理論聯系實際的能力。

可開設的實驗：
1、真空的獲得與測量；2、蒸發法薄膜制備 3、直流磁控濺射鍍膜

設備的組成：

SVZK-300型多功能真空實驗儀由電氣控制系統與真空系統組成，其中電氣控制系統包括控制電路、真空測量儀與測量儀表；真空系統

包括玻璃真空室、真空管路、真空機組（直聯機械旋片泵和分子泵構成二級真空系統）、真空測量。

技術參數：

1、真空室：采用硬質玻璃制造，可直接觀察真空室內各部件及實驗過程。包括真空室底盤、二對無氧銅電極、烘烤加熱器、蒸發擋板、襯底加熱燈管。

2、分子泵：本系統采用F160/620渦輪分子泵，其冷卻方式為通水冷卻，必須采用水冷。

3、真空控制系統：直觀地反映整個真空抽氣過程的原理和各閥門工作狀態。

4、真空測量系統：采用數顯復合真空計測量系統的真空度，一路電離規和一路熱偶規構成高、低真空測量。(儀器自帶2路熱偶規,可根據需要安裝在不同位置,需額外增加配件.)熱偶規： 4.0x102Pa——1.0x10-1Pa電離規： 1.0x10-1Pa——1.0x10-5Pa

5、烘烤加熱系統：真空室烘烤和襯底加熱采用高品質溫度控制器進行加熱控溫；

6、蒸發鍍膜系統：采用單相整流固態調壓方式控制蒸發鍍膜電源，蒸發電流調節及電壓、電流指示。

7、電源總控系統：整機的電源控制及工作狀態指示。

關鍵詞：加熱器真空計溫度控制器

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