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900℃帶多通道質子流

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更新時間：2023-02-28 08:15:03瀏覽次數：164次

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長沙沛鈺進出品貿易有限公司

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產品簡介

產品詳情型號：RTP-1000-LCD產品概述：RTP1000-LCD是一款4"RTP(快速熱處理)管式爐

詳細介紹

產品詳情

型號：RTP-1000-LCD

產品概述：RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速熱處理) 管式爐。包括多通道質子流量計控制系統，在操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數據。他專為半導體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達3"）退火而設計。這款設備是采用12KW的紅外燈加熱，升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，儀表控溫精度是 +/-1℃。RS485接口和控制軟件可以通過計算機控制爐子運行并顯示溫度曲線。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情

設備名稱

900℃帶多通道質子流量計控制系統RTP管式爐—RTP-1000-LCD （2019.12.24—科晶實驗室審核）

產品提示

1、多種配件可選提示 2、科晶實驗室邀請提示 3、配件妥善保管提示

主要特點

· 快速升溫，達50℃/s。

· 配有多通道質子流量計控制系統，在操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數據。

· 超大管徑φ110mm。

· 溫度可達900℃。

· 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

· 開門斷電。

基本參數

· 工作溫度：900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長期)

· 升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s

· 法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

· 加熱區長度：190mm

· 加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW)

· 功率：12KW(>60A 保險)

· 設備電源：AC220V/50HZ 單相

· 循環水流量:0.5 m3/h

· 標配流量計量程范圍：16-160 ml/min

· 多通道質子流量計系統參數

· 輸入電壓：AC 220V/50Hz單相

· 功率：23W

產品	二通道	三通道	四通道	五通道
工作溫度	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃
壓力	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa
精度	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS
重復精度	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS
流量范圍	一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM
注意	其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費用			五-九路可按照客戶要求定制