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長沙沛鈺進出品貿易有限公司
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產品型號
品 牌
廠商性質其他
所 在 地
聯系方式:長沙市岳麓區天馬路科教新村5區三棟304(大學城辦事處)查看聯系方式
更新時間:2023-02-28 09:34:13瀏覽次數:177次
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經營模式:其他
商鋪產品:487條
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聯系人:長沙市岳麓區天馬路科教新村5區三棟304(大學城辦事處)
產品詳情型號:OTF-1200X-50S-PE-SL產品概述:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統
型號:OTF-1200X-50S-PE-SL
產品概述:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統。此套設備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統,且設備性價比較為理想。
小型滑動PECVD管式爐系統—OTF-1200X-50S-PE-SL
1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示
? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;
? 可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫;
? 可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力;
? 可通過工藝調節來控制化學計量;
? 可沉積各種材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。
展示視頻
? 溫度:1100℃(<30min);連續工作溫度:1000℃;
? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統,控溫精度:±1℃;
? 輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW;
? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字了解涂層的詳細參數)。
? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。
300W射頻電源
500W射頻電源
100W射頻電源
輸出功率
0-300W可調
(穩定性:±1%)
0-500W可調
0-100W可調
射頻頻率
13.56 MHz
(穩定性:±0.5%)
匹配
自動匹配
手動匹配
噪音
<50dB
冷卻方式
風冷
輸入電壓
AC180-250V
AC108-250V
AC110-240V
圖片
? 采用TRP-12的雙旋真空泵;
? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
? 真空度可達10-2Torr。
? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
? 流量范圍:
一路
0-100 sccm
二路
0-200 sccm
三路
四路
0-500 sccm
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;
? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;
? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
? 尺寸:1500mm L′600mm W′1200mm H
? 凈重:160 kg
? 運輸重量:220 kg
? CE認證
? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證
? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
? 一年質保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)
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