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愛德華edwardsIXL高性能干式真空泵機組

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更新時間：2023-05-18 07:47:41瀏覽次數：182次

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產品簡介

愛德華edwards半導體干式真空泵iXL高性能干式真空泵機組iXL系列干泵滿足平板顯示器(FPD)、半導體和太陽能制造市場領域涉及的所有排氣要求

詳細介紹

愛德華edwards半導體干式真空泵iXL 高性能干式真空泵機組

iXL 系列干泵滿足平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場領域涉及的所有排氣要求。

這些性能的泵旨在Z大限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、占地面積和重量。此外，大修間隔期內無須維護。

Standard_Body_Image_iXL_Pumps

適用于半導體和太陽能應用的小型 iXL 干泵

iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它可快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低?？?用于負載鎖定和清潔應用的Z小且Z輕的泵之一。其低振動和低噪聲級的優點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的工廠地面空間。環保模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本，有助于保護環境。

的艙室抽空時間可減少總體平均循環時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于減少客戶擁有成本
環保模式可以在空閑期間Z多減少 92% 的功耗
Z高 35oC 的水供給有助于降低設備冷卻水要求
極小且極輕，有助于節省寶貴的工廠空間

適用于嚴苛應用的大型 iXL 干泵

iXL1000：緊湊型低能量的干泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和極低的功耗。可用于輕負載應用（如晶圓加工、PVD 和計量）的Z小且Z安靜的泵之一。此產品在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和低能耗特性。通過環保模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低成本并幫助保護環境。