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天津瑞利光電科技有限公司
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產品介紹8-0240無間隙運行確保高運動精度+0.5m或更高的所有方向的雙向重復性有效值
8-0240無間隙運行確保高運動精度 +0.5 μm 或更高的所有方向的雙向重復性有效值；校準精度高達 +1.5 μm 或更高，整個可用行程范圍；保證了低角度偏差（低至 +20 μrad）和 +25 μrad 或更好的正交性；超過 1000 mm/s 的高速度和 15 000 mm/s 的高加速度帶來了高產量和生產率；帶有可調氣動重量補償裝置的直接驅動垂直軸，適用于不確定的刀具重量，確保了多功能性；所有 XYZ 模塊中都集成了無鐵電機，確保了高動態范圍和動態穩定性；直接安裝在負載上的增量反饋系統可實現無間隙伺服控制和即時動態響應；提供Abs編碼器選項，防止系統歸位運行；新型的實際龍門控制算法可確保穩定性和低動態誤差；靈活的模塊化設計可滿足廣泛的應用要求、適合半導體制造或計量、鉆孔、激光燒蝕等應用；機構復雜度低，可在不同行程范圍內快速擴展類似系統。
定位范圍 XY - 1000 x 1300 mm，Y - 90 mm
+0. 5 μm 或更好的雙向重復性 RMS
+1.5 μum 或更好的校準Abs精度
速度 1000 m/s，加速度 15 000 mm/s2
靈活的模塊化設計可根據任何要求進行定制
可定制系統尺寸和行程范圍
產地：立陶宛
編碼器類型：光柵
編碼器型號：LEN1
編碼器分辨率（nm）：低至 0.3
編碼器接口：1 Vpp 或 Dierential RS422
內部乘法器：是
乘法器：x 65536
編碼器光柵周期（μm）：20
參考標記（指數）：是
Abs精度（校正后）：±1.5；±1.5；±0.5 μm
雙軸重復性 (RMS)：±0.5；±0.5；±0.1 μm
俯仰角：±15/±3.1；±42/±8.66；±551 ±11.34
偏航，拉德/角秒：±7.5/±1.55；±42/±8.66；±55/±11.34
滾動，垂距/角秒：±7.5/±1.55；±42/±8.66；±551 ±11.34
Max Vloit（無負荷，4 個電機），mm/s：1000
Max Acleaton （空載，4 個電機），mm/s2：10000
限位開關類型：霍爾傳感器
限位開關電壓：5至24 V
線性平臺總尺寸（寬 x 長 x 高）：2300 x 1690 x 912 mm
移動平臺尺寸（寬 x 長）：295 x 130 mm
測量系統：公制/英制
光度，μurad/arcsec：48.48/10
航空、海洋、地質勘探、測繪等
半導體制造或計量、鉆孔、激光燒蝕等應用
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