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PIEZOSYSTEM JENA壓電定位器PXY 200

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產品型號PXY 200

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更新時間：2024-05-07 11:26:48瀏覽次數：93次

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產品簡介

產品介紹精確的平行運動Max.200m的運動范圍無機械間隙容易與其他壓電系統結合精密銷孔，可精確調節高動態范圍可用于光纖定位、二維掃描系統、光束對準、半導體、微操作平行四邊形構造的固態鉸鏈提供平行運動，而在x和y方向上沒有機械間隙

詳細介紹

產品介紹

精確的平行運動

Max.200µm的運動范圍

無機械間隙

容易與其他壓電系統結合

精密銷孔，可精確調節

高動態范圍

可用于光纖定位、二維掃描系統、光束對準、半導體、微操作

平行四邊形構造的固態鉸鏈提供平行運動，而在x和y方向上沒有機械間隙。這些構造原理得到非常高的分辨率，遠遠超過了機械和機電定位系統的分辨率。壓電定位器PXY 200系列可以輕松安裝到其他定位系統，并可以配備克服磁滯效應的測量設備（應變儀）。動態操作是可能的，PXY 200壓電元件非常適合解決掃描問題。

產品參數

軸：X，Y

開環運動（±10％）/閉環運動（±0.2％）：200 /-µm

每軸電容（±20％）：5.2µF

分辨率（開/閉環）：0.4 /- nm

諧振頻率x / y（空載）：350/350 Hz

推/拉力

X軸：max. 130/13 N

Y軸：130/13 N

剛度x / y ：0.65 / 0.65 N /μm

電壓范圍：-20…130V

電纜長度：1 m