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AEROTECH空氣軸承直驅旋轉平臺ABRS150MP

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更新時間：2024-05-07 11:31:09瀏覽次數：108次

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產品簡介

產品介紹直接驅動，無槽，無刷伺服電機零齒槽電機，出色的速度穩定性出色的誤差運動和擺動性能直聯式高精度旋轉編碼器薄型平面設計沒有機械接觸Aerotech的ABRS系列旋轉氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位，速度穩定性和誤差運動性能

詳細介紹

產品介紹

直接驅動，無槽，無刷伺服電機

零齒槽電機，出色的速度穩定性

出色的誤差運動和擺動性能

直聯式高精度旋轉編碼器

薄型平面設計

沒有機械接觸

Aerotech的ABRS系列旋轉氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位，速度穩定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查，高精度計量，X射線衍射系統，光學檢查和制造以及MEMS /納米技術設備制造的嚴格要求。

緊湊包裝

ABRS系列直接驅動旋轉平臺的設計已經過優化，可大程度地減少平臺高度。平臺的低矮外形降低了系統的有效工作高度，從而減少了與“堆積”有關的錯誤。除了較低的總高度外，ABRS系列還提供了一個通孔，可用于產品直通，激光束傳輸，電纜間隙或特定應用的要求。

機械設計

ABRS設計具有大的空氣軸承表面，具有很高的剛度和承載能力，不僅產生出色的軸向和徑向誤差運動，而且產生出色的傾斜誤差運動。所產生的面誤差運動明顯優于其他旋轉式空氣軸承工作臺和主軸，極大地受益于需要出色平面性能的應用。

無刷直驅

為了更好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。電機采用磁路設計，可產生高扭矩輸出，而產生的熱量最少。無槽設計本質上是零齒槽和無轉矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應用。

準確定位

光學編碼器是ABRS的標準配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時，分辨率可達到<0.03弧秒。

定制設計

定制版本的ABRS可用于費率表和慣性制導試驗臺應用。

產品參數

寬度：150 mm

桌面直徑：128.1 mm

高度：80 mm

孔徑：8 mm

總行程：360°連續

總線電壓：80 VDC

基本編碼器分辨率：3600行/轉

轉速：max.300 rpm

精度：±3角秒

雙向重復性：<2弧秒

負荷

軸向：8 kg

徑向：4 kg

傾斜：3 N-m

軸向誤差運動（同步）：<175 nm

徑向誤差運動（同步）：<450 nm

傾斜誤差運動（同步）：<9.7 µrad（<2.0弧秒）

軸向誤差運動（異步）：<20 nm

徑向誤差運動（異步）：<20 nm

傾斜誤差運動（異步）：<0.4 µrad（<0.08弧秒）

工作壓力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）

空氣消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）

材料：鋁

表面：硬涂層（62洛氏硬度）

慣性卸載：3850 kg-mm²

總質量：4.8公斤

關鍵詞：伺服電機工作臺位移臺

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