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北京中海遠創材料科技有限公司
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更新時間:2023-01-30 08:53:07瀏覽次數:318次
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Alpha-StepD-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量,與材料特性無關??烧{節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行測量。通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。
功能
臺階高度:幾納米至1000μm
低觸力:0.5至15mg
視頻:500萬像素率彩色攝像頭
梯形失真校正:消除側視光學系統引起的失真
圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀
主要應用
臺階高度:2D臺階高度
紋理:2D粗糙度和波紋度
形式:2D翹曲和形狀
應力:2D薄膜應力
應用領域
半導體和復合半導體
SIMS:二次離子質譜
LED:發光二極管 太陽能
MEMS:微電子機械系統
汽車
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