系統參數:
◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調節
◆物鏡: 1X - 50X 放大:標準工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數表
◆視場: 跟所選物鏡有關
◆光源: 長壽命白光 LED,計算機控制光強
◆物鏡安裝:直接螺紋安裝(標配);單物鏡楔形座安裝(選配);手動或電控 4 位物鏡塔臺(選配)
◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
◆測量陣列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
◆樣件觀察: Mx 軟件集成實時觀察
◆Z 軸: 100mm 行程,主機頭具有兩種可選安裝高度,以優化工作距離
◆樣品臺控制: USB 控制器
◆安全性: 系統集成緊急制動功能
◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(標配) 手動型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);電動型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
◆計算機: i5 級別 PC,23 寸顯示器 1080p
◆軟件: ZYGO Mx 軟件,Windows7(64 位)
◆尺寸(HWD): 系統:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機:82x53x53cm
◆重量: ZeGage Plus主機:54Kg; 工作臺:37Kg
性能:
◆縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)
◆表面形貌重復性:<0.15nm
◆光學分辨率(橫向):0.52um (50x 物鏡)
◆空間采樣: 0.17um(50x 物鏡)
◆掃描速度: ≤ 73 um/秒
◆臺階高度重復性:≤0.3%@1σ
◆臺階精度: ≤ 3%
被測樣品特性:
◆材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 標準主機頭位置;147 x 100 x 100mm 主機頭加高采用局部覆蓋放置可以測試更大的樣品
◆反射率:0.05%-99%
環境要求:
◆溫度: 15-30℃ <1.0°C/15 分鐘
◆濕度: 相對濕度 5%-95%,無凝結
◆隔振: 包含隔振,要求隔離 1-120Hz 振動
◆振動準則: VC-C 或有更好的推薦