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深圳市邦企創源科技有限公司
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ET系列勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。 英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋
產品介紹
ET系列勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。
采用閉環控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠的均一性。
5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置)，可選配10個可編程程序，每個程序下可設置10個勻膠梯度階段，z多100個階段。
內置水平校準裝置，保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進行旋涂。
多重安全保護:
電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全;
蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人;
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實驗人員安全。
樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風險。
一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計，取放樣品方便。
不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠
勻膠機轉速穩定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結構緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
勻膠機轉速穩定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結構緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。
| 類別 | 型號 | 特點 | 對比 |
通用型 | ET-4A | 皮實耐用， | 皮實耐用,性價比高,國產電機 |
| ET-4B | 304不銹鋼材質防酸防堿防腐蝕 | 4A升級款,不銹鋼機身,國產電機 | |
中端型 | ET-4BC | 4.3寸彩色觸摸屏 可設10段速度段 加速度可調 轉速范圍50-10000轉/分鐘 | 4B升級款 4.3寸真彩色觸摸屏 存儲10段無數組數據 國產電機 |
| ET-4C | 4.3寸真彩色觸摸屏，最多可設10段10組數據，加速度可調，帶USB口可外接鍵盤鼠標U盤等設備，體積小巧可放入手套箱。可接無線鼠標鍵盤：機器可放于手套箱內,同時客戶可在手套箱外遠程操作機器 1.帶防飛片保護與報警 2.帶防進膠保護與報警 3.帶自動取片提示功能 | 帶USB通信接口 可正反轉旋涂 美國進口電機 | |
型 | ET-4L | 8寸超大真彩色觸摸屏，最多可設15段無數組數據，加速度可調，帶USB口，串口，網口可外接鍵盤鼠標U盤等設備 | 8寸超大真彩色觸摸屏 帶USB，RS485串口 可正反轉旋涂 德國進口電機 |
| ET-4E | 1.室溫-200℃精確控制， 2.8寸超大真彩色觸摸屏， 3.旋涂正反轉可自由切換， 4.可帶2-4路自動滴膠顯影功能， 5.腔室采用PTFE材料防酸防堿防腐蝕 6.腔室帶抽廢氣功能 7.吸附不足報警與互鎖 8.帶進膠保護與報警 | 帶加熱功能 可帶2-4路自動滴膠顯影功能 腔室采用聚四氟乙烯材料 可正反轉旋涂 德國進口電機 | |
| ET-4 | 1.室溫-200℃精確控制 2.可放入手套箱 | 可放入手套箱 腔室采用聚四氟乙烯材料 | |
| ET-4Q | 1.旋涂基片可支持300mm(12寸)基片 2.帶機械手可編程涂膠顯影 | 桌面型 | |
| ET-4K | 1.旋涂基片可支持450mm基片 | 1.立柜結構方便操作 | |
| ET-4X | 產線級旋涂顯影8寸或12寸硅片 | 工業機柜帶機械手 |
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