系統采用了精心的設計來減低振動,采用各種減震裝置阻止機械振動影響測量的性能。在全量程溫度范圍內,樣品的振動小于1um ( X, Y, Z軸)。
美國 Lake Shore CRX-VF 低溫真空探針臺最多可安裝6個可以進行微調整的探針臂,每個探針臂上的探針都可以進行3維方向上的定位。微波探頭可以±5°旋轉,使樣品可以更好的和探針匹配。DC探針低噪音,低漏電流,熱接觸好。RF探針頻率配置到67GHz.,光線可以從窗口入射,也可以通過光纖導入。專用的探針根據尺寸和材料不同,分為多種類型,探針減少了熱質量,優化了和器件的電接觸性。每個探針都直接和冷頭進行導熱,這樣就減小了探針對樣品的熱傳遞。