光學輪廓測量顯微鏡
輪廓測量顯微鏡是屬于計量儀器，儀器主要采用雙照明透、反射照明方式，通過觀察和光學系統對精密的幾何量（輪廓、長度、角度）進行觀察、分析、測量。
光、機、電一體化測量儀器，廣泛用干機械、儀表、電子、輕工等行業，院校、研究所以及計量檢定部門。
本儀器能高效率地檢測各種形狀復雜工件的輪廓尺寸和表面形狀，
如樣板、沖壓件、凸輪螺紋、齒輪、成型銑刀等、大規模集成電路線寬、小型零件（如鐘表

詳細介紹

光學輪廓測量顯微鏡

一、技術參數

1. 觀察筒：正像觀察筒，45°鉸鏈式三目，瞳距調節：50mm~76mm，兩檔分光比

雙目:三目=100：0 或 0:100

2.移動行程范圍： X:100mm;Y:100mm

分辨率 Z 軸不小于 0.02um，XY 軸不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um

3.工作臺尺寸： 355×240mm (玻璃臺面尺寸：210×175mm)

4.可檢測表面粗糙度：不小于 40nm

5.物鏡： 5X、10X、20X、50X、100X

6.總放大倍數 50X-1000X

7.雙照明光源，帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調中心

反射照明：高亮度5V，3W（LED）

投射照明： 高亮度5V，3W（LED）

8. 適配鏡：直徑：59mm, 0.5 倍，內調焦距：0～3mm 調焦后可鎖緊；

感光元件 1/2″，數據采集速度，可達 30 幀/秒，高分辨率：2048×1536

配置清單

序號	名稱	單位	數量	備注
1	顯微鏡主機	臺	1
2	XY移動手輪	組	1
3	觀察鏡組	套	1
4	物鏡5X、10X、20X、50X、100X	套	各1
5	目鏡10X	對	1
6	適配鏡0.5X	只	1
7	數據采集系統	套	1
8	成像裝置系統	套	1
9	LED照明裝置	套	1
10	聯想品牌電腦	套	1
11	電源線	臺	1
12	產品裝箱單	份	1
13	隨機文件	份	1