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鄭州科探儀器設備有限公司
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簡要描述：KT-Z1604T真空探針熱臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
KT-Z1604T真空探針熱臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該真空探針熱臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測
真空探針熱臺產品圖片
| 真空腔體 | |
| 腔體材質 | 304不銹鋼 |
| 上蓋開啟 | 鉸鏈側開 |
| 加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
| 內腔體尺寸 | φ160x90mm |
| 觀察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加熱臺尺寸 | φ60mm |
| 觀察窗熱臺間距 | 75mm |
| 加熱臺溫度 | 35-350℃ |
| 加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
| 真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允許正壓 | ≤0.1MPa |
| 真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
| 氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
| 電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
| 電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
| 探針數量 | 4探針 |
| 探針材質 | 鎢針 |
| 探針尖 | 10μm |
| 探針移動平臺 | |
| X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
| X軸控制精度 | ≤0.01mm |
| Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
| Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
| Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
| 電子顯微鏡 | |
| 顯微鏡類別 | 物鏡 |
| 物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
| 工作間距 | 90mm |
| 相機 | sony 高清 |
| 像素 | 1920※1080像素 |
| 圖像接口 | VGA |
| LED可調光源 | 有 |
| 顯示屏 | 8寸 |
| 放大倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm |
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