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深圳創盛世科技有限公司
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UHV式光柵特性由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低殘余氣體分析(RGA)經驗證不會污染真空環境120°C烘焙溫度非接觸開放式光學系統提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零無氣密孔高精度直線光柵和圓光柵系列真正意義的位置測量RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用，實現位置測量
RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用，實現位置測量。該光柵在通電后無需任何移動便可立即獲取位置信息。
RESOLUTE光柵結合了的光學系統與創新的位置確定算法，能夠以達到1 nm的精細分辨率和高達100 m/s (36,000 rpm) 的速度實現位置測量。
RESOLUTE光柵系統可測量位置，其具有±40 nm的低電子細分誤差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪聲（抖動），能夠實現平穩的速度控制性能和可靠的位置穩定性。
直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
圓光柵用于提供角度位置信息以及對旋轉元件進行運動控制。
圓弧柵尺可卷繞在圓柱體、軸或圓弧上，用于測量旋轉運動的圓弧。
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時的熱膨脹系數 | 供應長度 | 讀數頭兼容性 |
配有可選FASTRACK™的RTLA30  | ±5 µm/m | 30 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 達21 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 供應長度 | 讀數頭兼容性 |
RKLA-S  | ±5 μm/m | 30 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 達21 m | RESOLUTE |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時的熱膨脹系數 | 供應長度 | 讀數頭兼容性 |
RELA30  | 1 m內為±1 µm，1 m以上為±1 µm/m | 30 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 達1.5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時的熱膨脹系數 | 供應長度 | 讀數頭兼容性 |
RSLA30 | 1 m內為±1.5 µm，2 m內為±2.25 µm，3 m內為±3 µm，5 m內為±4 µm | 30 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 達5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 供應長度 | 讀數頭兼容性 |
RKLA-S  | ±5 μm/m | 30 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 達21 m | RESOLUTE |
柵尺名稱 | 刻劃精度（取決于圓光柵直徑） | 柵距 | 20 °C時的熱膨脹系數 | 圓光柵直徑 | 讀數頭 兼容性 |
RESA30  | ±3.97至±0.38角秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至550 mm | RESOLUTE、 RESOLUTE UHV、 RESOLUTE ETR、 RESOLUTE FS |
柵尺名稱 | 安裝精度 （取決于圓柵直徑） | 柵距 | 20 °C時的熱膨脹系數 | 圓光柵直徑 | 讀數頭兼容性 |
REXA30  | （≥100 mm直徑） ±1角秒 ±1.5角秒 ±2角秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至417 mm | RESOLUTE、 RESOLUTE UHV、 RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS |
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